MEMS湿敏器件品质控制规范.docx

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MEMS湿敏器件品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、范围 4

二、术语和定义 5

三、产品分类与型号 8

四、质量管理要求 12

五、设计开发控制 14

六、原材料质量控制 15

七、生产环境控制 18

八、设备与工装控制 20

九、制造过程控制 22

十、封装与外观要求 24

十一、技术性能要求 27

十二、检验与试验方法 29

十三、校准与测量控制 32

十四、环境适应性要求 35

十五、可靠性要求 40

十六、抽样与判定规则 41

十七、不合格品控制 44

十八、产品标识与追溯

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