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MEMS湿敏器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 4
二、术语和定义 5
三、产品分类与型号 8
四、质量管理要求 12
五、设计开发控制 14
六、原材料质量控制 15
七、生产环境控制 18
八、设备与工装控制 20
九、制造过程控制 22
十、封装与外观要求 24
十一、技术性能要求 27
十二、检验与试验方法 29
十三、校准与测量控制 32
十四、环境适应性要求 35
十五、可靠性要求 40
十六、抽样与判定规则 41
十七、不合格品控制 44
十八、产品标识与追溯
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