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MEMS微镜器件品质控制规范.docx

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    MEMS微镜器件品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 4

    三、品质控制原则 6

    四、产品分类与型号 8

    五、质量目标与指标 10

    六、设计质量控制 13

    七、材料与供应商控制 15

    八、晶圆制造过程控制 17

    九、微镜结构加工控制 19

    十、封装与组装控制 21

    十一、洁净与静电防护 23

    十二、检验设备与量具管理 25

    十三、来料检验 28

    十四、过程检验 30

    十五、成品检验 34

    十六、可靠性与环境试验 37

    十七、失效分析与判定 41

    十八、不合格品控制

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