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MEMS磁力传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 2
二、术语与定义 3
三、产品分类与型号 7
四、质量目标与控制原则 9
五、质量管理职责 11
六、设计开发质量控制 14
七、原材料与外协件控制 18
八、晶圆制造过程控制 21
九、封装与组装过程控制 26
十、校准与补偿控制 30
十一、关键性能指标要求 32
十二、检验与试验方法 35
十三、可靠性验证要求 40
十四、环境适应性要求 43
十五、静电防护与洁净管理 46
十六、标识包装与储存 49
十七、不合格品与纠正措
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