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MEMS微执行阵列品质控制规范.docx

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    MEMS微执行阵列品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、适用范围 5

    三、术语和定义 8

    四、产品分类与技术要求 10

    五、质量目标与控制原则 15

    六、设计质量控制 17

    七、原材料与外购件控制 21

    八、微加工过程质量控制 23

    九、阵列装配与封装控制 26

    十、检验与试验方法 28

    十一、可靠性与环境适应性 31

    十二、计量设备与校准管理 34

    十三、不合格品控制 37

    十四、质量记录与追溯管理 40

    十五、质量评价与持续改进 42

    总则

    目的界定

    本规范旨在明确MEMS微执行

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