MEMS执行器品质控制规范.docx

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MEMS执行器品质控制规范

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一、适用范围 4

二、术语和定义 5

三、产品分类 7

四、质量目标 9

五、质量管理要求 12

六、设计开发控制 15

七、原材料质量控制 18

八、零部件质量控制 20

九、生产工艺控制 23

十、关键工序管理 27

十一、生产设备管理 29

十二、生产环境控制 30

十三、人员能力管理 35

十四、检验与试验要求 37

十五、尺寸与外观检验 41

十六、性能指标检验 44

十七、可靠性验证 47

十八、清洁与防护要求 51

十九、

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