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MEMS执行器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、适用范围 4
二、术语和定义 5
三、产品分类 7
四、质量目标 9
五、质量管理要求 12
六、设计开发控制 15
七、原材料质量控制 18
八、零部件质量控制 20
九、生产工艺控制 23
十、关键工序管理 27
十一、生产设备管理 29
十二、生产环境控制 30
十三、人员能力管理 35
十四、检验与试验要求 37
十五、尺寸与外观检验 41
十六、性能指标检验 44
十七、可靠性验证 47
十八、清洁与防护要求 51
十九、
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