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MEMS可穿戴传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、规范性术语 6
三、产品分类与质量特性 9
四、品质控制基本原则 15
五、质量管理体系 16
六、设计开发质量控制 20
七、关键原材料质量控制 24
八、供应商质量管理 28
九、生产过程质量控制 32
十、洁净与静电防护控制 35
十一、关键工艺参数管理 37
十二、在线检测与过程监控 40
十三、传感器性能测试 44
十四、环境适应性测试 48
十五、可靠性与寿命测试 51
十六、封装与互连质量控制 54
十七、
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