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MEMS加速度计品质控制规范
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一、适用范围 3
二、规范性术语 4
三、质量管理职责 7
四、质量目标与指标 9
五、产品分类与型号 12
六、设计质量控制 16
七、供应商质量管理 19
八、原材料与元器件检验 22
九、生产环境控制 24
十、生产设备管理 27
十一、生产过程控制 32
十二、关键工序管理 35
十三、静电防护要求 38
十四、产品检验分类 42
十五、外观与尺寸检验 44
十六、电气性能测试 47
十七、加速度性能测试 49
十八、温度特性测试
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