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MEMS低功耗传感器品质控制规范.docx

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    MEMS低功耗传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语和定义 8

    三、产品分类与型号 10

    四、质量目标与控制原则 13

    五、设计质量控制 15

    六、材料与元器件控制 17

    七、MEMS芯片制造控制 19

    八、封装工艺控制 23

    九、低功耗性能要求 29

    十、传感性能要求 31

    十一、环境适应性要求 34

    十二、可靠性要求 37

    十三、检验与试验方法 39

    十四、生产过程质量控制 43

    十五、出厂检验与验收 46

    十六、标识包装与储运 50

    十七、不合格品控制 53

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