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MEMS射频器件质量管控规范.docx

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    MEMS射频器件质量管控规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 4

    二、术语和定义 5

    三、质量目标与原则 8

    四、质量管理组织 11

    五、质量策划 13

    六、产品分类与质量等级 16

    七、设计质量控制 19

    八、材料与元器件控制 23

    九、供应商质量管理 25

    十、制造过程控制 28

    十一、关键工序管理 31

    十二、洁净环境控制 34

    十三、设备与工装管理 37

    十四、检验与试验要求 39

    十五、射频性能测试 42

    十六、微机电性能测试 45

    十七、可靠性验证 47

    十八、失效分析与改进

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