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MEMS传感器生产设备维护保养制度
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一、总则 3
二、适用范围 15
三、管理职责 17
四、设备分类与分级 19
五、设备台账与档案管理 21
六、设备验收与交接 23
七、设备日常点检 26
八、设备定期保养 28
九、设备预防性维护 30
十、关键工艺设备管理 32
十一、洁净环境与污染防控 35
十二、计量校准与状态标识 38
十三、备件与耗材管理 40
十四、故障报修与维修管理 42
十五、设备停机与复机确认 45
十六、设备变更管理 49
十七、维护质量记录管理
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