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MEMS传感器洁净室管理规范.docx

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    MEMS传感器洁净室管理规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、洁净室分区管理 8

    三、洁净等级与环境要求 10

    四、人员准入管理 14

    五、人员更衣与行为规范 16

    六、物料进出管理 18

    七、设备设施管理 20

    八、洁净室环境监测 24

    九、颗粒物污染控制 27

    十、化学污染控制 29

    十一、静电防护管理 32

    十二、工艺区域管理 34

    十三、清洁与消毒管理 37

    十四、耗材与工具管理 40

    十五、废弃物分类处置 42

    十六、设备维护与校准 46

    十七、异常事件处置 48

    十八、

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