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MEMS电子皮肤器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、适用范围 4
三、术语和定义 6
四、品质管理职责 9
五、产品分类与质量目标 11
六、设计开发质量控制 15
七、原材料与元器件控制 18
八、微纳制造过程控制 21
九、封装与互连质量控制 24
十、检验设备与测量管理 26
十一、器件性能检验 29
十二、可靠性与环境试验 32
十三、数据记录与追溯管理 34
十四、不合格品与纠正措施 38
十五、出厂判定与交付控制 41
总则
目的与适用范围
本规范旨在明确MEMS电
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