MEMS扭矩传感器品质控制规范.docx

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MEMS扭矩传感器品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、产品分类与型号标识 7

三、质量管理职责 10

四、设计质量控制 12

五、原材料与外购件控制 16

六、生产环境与设备管理 19

七、晶圆制造过程控制 20

八、芯片封装过程控制 23

九、传感器装配控制 25

十、校准与补偿控制 27

十一、检验设备与量值管理 30

十二、检验项目与技术要求 33

十三、检验方法与判定规则 37

十四、可靠性验证 39

十五、出厂检验与放行 43

十六、不合格品控制 45

十七、追溯与记录

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