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MEMS温压复合传感器品质控制规范.docx

MEMS温压复合传感器品质控制规范.docx

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    MEMS温压复合传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类与型号 6

    四、基本要求 9

    五、外观与结构要求 13

    六、温度测量性能 15

    七、压力测量性能 18

    八、温压复合性能 20

    九、环境适应性 23

    十、电气与电磁兼容要求 27

    十一、试验条件与设备 29

    十二、试验方法 32

    十三、检验规则 36

    十四、生产过程质量控制 38

    十五、标识包装运输与贮存 40

    范围

    适用范围

    本规范适用于通过MEMS温压复合传感器技术实现温湿度与压力复合感知

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