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MEMS敏感膜片品质控制规范.docx

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    MEMS敏感膜片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 4

    二、术语与定义 5

    三、产品分类 8

    四、技术要求 10

    五、材料要求 13

    六、结构设计要求 15

    七、尺寸与形位公差 18

    八、外观质量 21

    九、表面状态 23

    十、关键性能指标 26

    十一、环境适应性 29

    十二、可靠性要求 33

    十三、洁净度控制 35

    十四、生产过程控制 38

    十五、关键工序管理 41

    十六、设备与工装管理 44

    十七、人员能力要求 47

    十八、检验与试验方法 48

    十九、检验规则 52

    二

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