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MEMS射频器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 6
三、术语和定义 7
四、产品分类与质量目标 12
五、质量管理职责 14
六、设计质量控制 16
七、材料与元器件控制 19
八、供应商质量管理 22
九、生产环境控制 26
十、设备与工装管理 29
十一、工艺过程控制 32
十二、关键工序管理 34
十三、静电防护与洁净控制 36
十四、检验与试验管理 38
十五、外观与尺寸检验 42
十六、电气性能测试 43
十七、可靠性与环境试验 46
十八、失效分析与
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