MEMS射频器件品质控制规范.docx

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MEMS射频器件品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、适用范围 6

三、术语和定义 7

四、产品分类与质量目标 12

五、质量管理职责 14

六、设计质量控制 16

七、材料与元器件控制 19

八、供应商质量管理 22

九、生产环境控制 26

十、设备与工装管理 29

十一、工艺过程控制 32

十二、关键工序管理 34

十三、静电防护与洁净控制 36

十四、检验与试验管理 38

十五、外观与尺寸检验 42

十六、电气性能测试 43

十七、可靠性与环境试验 46

十八、失效分析与

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