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半导体载具质量管控规范
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一、适用范围 2
二、术语和定义 3
三、质量管控原则 7
四、载具分类与标识 9
五、载具质量要求 13
六、供应商质量管理 15
七、来料检验与验收 18
八、生产过程质量控制 21
九、清洁与维护管理 23
十、使用与周转管理 27
十一、储存与运输管理 30
十二、检验方法与设备管理 33
十三、抽样规则与判定标准 36
十四、不合格品控制 39
十五、质量记录与追溯管理 41
适用范围
应用场景概述
本规范适用于半导体载具全生命周期质量管控体系
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