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MEMS谐振器件质量管控规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 4
三、术语和定义 6
四、质量管理原则 8
五、产品分类与型号标识 10
六、质量目标与指标 13
七、设计质量控制 16
八、供应商质量管理 19
九、原材料与元器件控制 22
十、生产环境控制 25
十一、工艺过程控制 30
十二、关键工序管理 32
十三、设备与工装管理 35
十四、检验与试验要求 37
十五、电性能质量控制 40
十六、结构与外观质量控制 44
十七、可靠性验证 46
十八、静电与洁净度控
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