MEMS谐振器件质量管控规范.docx

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MEMS谐振器件质量管控规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、适用范围 4

三、术语和定义 6

四、质量管理原则 8

五、产品分类与型号标识 10

六、质量目标与指标 13

七、设计质量控制 16

八、供应商质量管理 19

九、原材料与元器件控制 22

十、生产环境控制 25

十一、工艺过程控制 30

十二、关键工序管理 32

十三、设备与工装管理 35

十四、检验与试验要求 37

十五、电性能质量控制 40

十六、结构与外观质量控制 44

十七、可靠性验证 46

十八、静电与洁净度控

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