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MEMS传感器研发质量管理制度

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、质量管理目标与原则 6

三、质量组织与职责 8

四、研发质量策划 11

五、需求与技术评审 16

六、MEMS器件设计控制 19

七、工艺开发与过程控制 21

八、设计验证与确认 26

九、试制与工程样品管理 28

十、供应商质量管理 30

十一、原材料与外协质量控制 34

十二、洁净环境与污染控制 37

十三、设备工装与计量管理 40

十四、可靠性与失效分析 43

十五、变更与配置管理 45

十六、质量问题与不合格品管理

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