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MEMS传感器研发质量管理制度
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、质量管理目标与原则 6
三、质量组织与职责 8
四、研发质量策划 11
五、需求与技术评审 16
六、MEMS器件设计控制 19
七、工艺开发与过程控制 21
八、设计验证与确认 26
九、试制与工程样品管理 28
十、供应商质量管理 30
十一、原材料与外协质量控制 34
十二、洁净环境与污染控制 37
十三、设备工装与计量管理 40
十四、可靠性与失效分析 43
十五、变更与配置管理 45
十六、质量问题与不合格品管理
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