MEMS位移传感器品质控制规范.docx

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MEMS位移传感器品质控制规范

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一、范围 2

二、规范性引用文件 2

三、术语和定义 4

四、产品分类与型号 6

五、技术要求 10

六、测量原理与性能指标 13

七、设计开发质量控制 17

八、原材料与元器件控制 20

九、生产过程质量控制 22

十、洁净与静电防护 25

十一、检验与试验方法 28

十二、环境适应性要求 32

十三、可靠性与寿命要求 34

十四、校准与量值溯源 37

十五、不合格品控制 39

十六、包装储存与运输 42

十七、质量记录与追溯 44

范围

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