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MEMS位移传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 2
二、规范性引用文件 2
三、术语和定义 4
四、产品分类与型号 6
五、技术要求 10
六、测量原理与性能指标 13
七、设计开发质量控制 17
八、原材料与元器件控制 20
九、生产过程质量控制 22
十、洁净与静电防护 25
十一、检验与试验方法 28
十二、环境适应性要求 32
十三、可靠性与寿命要求 34
十四、校准与量值溯源 37
十五、不合格品控制 39
十六、包装储存与运输 42
十七、质量记录与追溯 44
范围
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