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MEMS静电敏感芯片品质控制规范.docx

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    MEMS静电敏感芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 3

    二、术语与定义 5

    三、产品分类与型号 7

    四、品质控制原则 11

    五、质量目标与指标 15

    六、组织职责与权限 17

    七、人员能力与培训 19

    八、设计开发控制 21

    九、原材料质量控制 25

    十、供应商质量管理 27

    十一、生产环境控制 30

    十二、制造过程控制 33

    十三、静电防护要求 35

    十四、关键工序管理 38

    十五、设备与工装管理 40

    十六、检验与试验管理 43

    十七、产品性能测试 47

    十八、可靠性验证

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