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MEMS气体传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、术语与定义 6
三、产品分类与型号 10
四、质量管理体系 14
五、设计质量控制 17
六、材料与元器件控制 20
七、供应商质量管理 22
八、生产环境控制 27
九、生产过程控制 29
十、关键工序管理 32
十一、产品检验规则 34
十二、外观与结构检验 39
十三、电气性能检验 41
十四、气体响应性能检验 44
十五、可靠性与环境试验 46
十六、校准与补偿管理 50
十七、标识与包装要求 52
十八、储存与运
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