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MEMS湿度气体复合芯片品质控制规范.docx

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    MEMS湿度气体复合芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类与结构 7

    四、技术要求 10

    五、原材料与外购件控制 14

    六、设计开发控制 16

    七、生产过程控制 18

    八、环境与设备控制 20

    九、检验分类与抽样规则 22

    十、检验方法 27

    十一、外观与尺寸要求 31

    十二、电气性能要求 33

    十三、湿度检测性能要求 35

    十四、气体检测性能要求 37

    十五、复合功能一致性要求 39

    十六、可靠性与环境试验 41

    十七、包装标识与储运要求 43

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