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PECVD原理培训考试测试卷及答案

欢迎参加PECVD原理培训考试。请认真阅读题目并作答，考试题目包含单选、多选、判断和填空，不含简答题。

1.Topcon太阳能电池PECVD工序中，在硅表面生成蓝色介质膜的主要成分是？[单选题]*

二氧化硅

氧化铝

碳化硅

氮化硅(正确答案)

答案解析：

Topcon太阳能电池PECVD工序生成的蓝色介质膜主要成分为氮化硅。

2.下列哪一项不是影响镀膜质量的关键参数？[单选题]*

桨进出速度(正确答案)

气体流量

放电功率

放电时间

答案解析：

影响镀膜质量的关键参数包括气体流量、放电功率、放电时间等，桨进出速度不属于影响镀膜质量的关键参数。

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