光电器件用砷化镓基外延片.docxVIP

GB/TXXXXX—XXXX

PAGE2

ICS29.045

CCSH83

中华人民共和国国家标准

GB/TFORMTEXTXXXXX—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT?????

Galliumarsenidebasedepitaxialwafersforoptoelectronicdevices

（预审稿）

FORMTEXT?????

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

光电器件用砷化镓基外延片

范围

本文件规定了光电器件用砷化镓基外延片（以下简称“外延片”）的术语和定义、分类及牌号、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量证明书等。

本文件适用于光电器件用砷化镓基外延片的生产，测试分析及质量评价。

规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T6618硅片厚度和总厚度