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氮化镓PDK无源器件建模与仿真分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u24766氮化镓PDK无源器件建模与仿真分析案例 1
317371.1引言 1
41951.2电磁仿真软件 1
29491.3去嵌入技术 2
289131.4无源器件电磁模型仿真与分析 6
318461.4.1工艺图层参数 6
98031.4.2MIM电容 9
14051.4.3电阻 15
195061.4.4螺旋电感 21
67561.4.5接地通孔 25
69851.4.6微带线 2
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