原创力文档PAGE
MEMS指纹传感芯片品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 4
二、规范性术语 4
三、产品分类 8
四、质量管理职责 11
五、产品技术要求 15
六、原材料质量控制 18
七、晶圆制造过程控制 21
八、微结构加工控制 23
九、封装过程控制 25
十、生产环境控制 27
十一、设备与工装管理 30
十二、生产过程检验 34
十三、成品检验要求 37
十四、可靠性验证 40
十五、环境适应性测试 42
十六、电气性能测试 46
十七、指纹图像质量评价 49
十八、缺陷分类与判定
文档评论（0）