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MEMS超声波传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 3
二、术语和定义 4
三、产品分类与型号 8
四、品质控制目标 11
五、质量管理职责 13
六、设计开发质量控制 16
七、MEMS芯片质量控制 19
八、供应商与来料质量控制 23
九、封装与装配质量控制 26
十、生产过程质量控制 28
十一、超声性能检验 31
十二、电气性能检验 34
十三、环境可靠性验证 36
十四、安全与电磁兼容要求 40
十五、校准与测量管理 43
十六、成品放行与交付 46
十七、不合格品与纠
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