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MEMS阀门反馈器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 4
二、规范性引用文件 5
三、术语和定义 8
四、产品分类与型号 12
五、质量控制目标 15
六、质量管理职责 18
七、设计质量控制 20
八、原材料与外购件控制 23
九、生产环境控制 25
十、生产设备与工装控制 27
十一、生产过程控制 30
十二、关键工序管理 32
十三、洁净度控制 37
十四、装配质量控制 39
十五、检验与试验要求 42
十六、外观与尺寸检验 46
十七、电气性能检验 48
十八、阀门反馈
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