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MEMS传感器振动冲击测试规范.docx

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    MEMS传感器振动冲击测试规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 5

    三、测试目的 7

    四、测试对象与分类 9

    五、职责分工 13

    六、测试设备与仪器 15

    七、试样要求 18

    八、测试环境条件 21

    九、测试前准备 24

    十、振动测试条件 28

    十一、振动测试方法 31

    十二、冲击测试条件 35

    十三、冲击测试方法 38

    十四、测试过程监控 41

    十五、数据采集与处理 44

    十六、性能判定要求 47

    十七、失效分析要求 50

    十八、测试报告要求 52

    十九、质量记录与归

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