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MEMS传感器温湿度测试作业指导书
目录TOC\o1-4\z\u
一、目的 3
二、适用范围 4
三、术语与定义 6
四、职责分工 8
五、测试人员要求 10
六、设备与工装要求 12
七、样品接收与标识 15
八、测试环境条件 17
九、测试前准备 19
十、温湿度测试程序 22
十一、测试参数与周期 27
十二、数据采集与记录 29
十三、结果判定准则 31
十四、异常处理与复测 34
十五、设备维护与记录归档 36
目的
开展MEMS传感器温湿度测试作业指导是保障其性能稳定性与质量符合预期的重要基
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