CN119076284A 一种射频电源加工装置及加工方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119076284A

(43)申请公布日2024.12.06

(21)申请号202411457925.9

(22)申请日2024.10.18

(71)申请人江苏神州半导体科技有限公司

地址225100江苏省扬州市邗江区蜀岗西

路19号1

(72)发明人朱培文

(74)专利代理机构南京业腾知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)32321

专利代理师崔瑶

(51)Int.Cl.

B05B16/20(2018.01)

B05D3/04(2006.01)

B05B13/04(2006.01)

B05B13/02(2006.01)