半导体器件第18-1部分:半导体生物传感器无透镜CMOS光子阵列传感器校准的试验方法和数据分析标准立项发展报告
EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Part18-1:Semiconductorbiosensors-Testmethodanddataanalysisforcalibrationoflens-freeCMOSphotonicarraysensors
摘要
随着生物传感技术与半导体集成电路的深度融合,无透镜CMOS光子阵列传感器作为一
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