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电子器件生产洁净室运维手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则与适用范围 2
二、洁净室系统组成 3
三、洁净度等级与环境要求 6
四、组织架构与岗位职责 10
五、人员出入与行为管理 13
六、洁净服装与个人防护 15
七、洁净室分区与压差管理 17
八、空气净化系统运行 20
九、温湿度与气流管理 22
十、洁净用水与工艺气体管理 25
十一、设备运行与维护保养 28
十二、清洁工具与耗材管理 31
十三、洁净室清洁与消毒 35
十四、环境监测与数据管理 38
十五、物料进出与物流管理 42
十六、异
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