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电子工业洁净厂房培训课件.docx

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    电子工业洁净厂房培训课件

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、电子工业洁净厂房概述 3

    二、洁净室分类与洁净度等级 6

    三、洁净厂房设计基本原则 9

    四、厂址选择与总平面布局 11

    五、工艺流程与洁净分区 14

    六、建筑围护结构与装修要求 17

    七、空气净化系统组成 19

    八、气流组织与压差控制 22

    九、温湿度与微振动控制 25

    十、给排水与纯水系统 30

    十一、气体与化学品供应系统 32

    十二、电气与照明系统 34

    十三、消防与安全设施 38

    十四、洁净室施工质量控制 40

    十五、洁净设备安装与调试 43

    十

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