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电子工业洁净厂房培训讲义.docx

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    电子工业洁净厂房培训讲义

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、电子工业洁净厂房概述 3

    二、洁净度等级与评价指标 5

    三、厂房规划与功能分区 9

    四、洁净室建筑构造 12

    五、空气净化系统组成 15

    六、气流组织与送回风设计 18

    七、高效过滤器配置与管理 26

    八、压差控制与气密性 33

    九、温湿度与热环境控制 37

    十、洁净环境检测与监控 39

    十一、微粒与分子污染控制 43

    十二、人员管理与洁净行为 47

    十三、更衣程序与洁净服管理 49

    十四、物料传递与物流控制 52

    十五、生产设备布局与维护 54

    十六

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