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电子工业洁净厂房运维手册.docx

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    电子工业洁净厂房运维手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则与适用范围 2

    二、洁净厂房系统组成 4

    三、洁净环境控制要求 6

    四、运行组织与岗位职责 9

    五、日常运行管理 15

    六、洁净室人员管理 19

    七、物料与设备进出管理 21

    八、空气净化系统运行维护 25

    九、工艺设备运行维护 27

    十、公用工程系统管理 29

    十一、环境监测与数据管理 32

    十二、清洁消毒与污染控制 35

    十三、能源管理与运行优化 38

    十四、异常事件与应急处置 41

    十五、检修与停复产管理 43

    十六、质量审核与持续改进

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