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电子工业洁净室工程设计规范.docx

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    电子工业洁净室工程设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、术语 4

    三、基本规定 8

    四、工艺设计 11

    五、洁净室分级与环境参数 15

    六、建筑设计 18

    七、空气净化与气流组织 22

    八、暖通空调 24

    九、给水排水 27

    十、气体与化学品供应 31

    十一、电气与自动控制 33

    十二、消防与安全 37

    十三、防静电与振动控制 40

    十四、施工与验收 44

    十五、运行与维护 47

    总则

    目的界定

    本规范旨在为电子工业洁净室工程设计提供通用性指导，聚焦电子制造环境对温湿度、洁净度、气流组织

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