半导体物理 课件 第二章 半导体中的杂质与缺陷 .pptx

半导体物理1

第二章半导体中的杂质与缺陷2

2.1半导体中的杂质2.2半导体中的缺陷2.3杂质和缺陷的检测和分析方法**前沿扩展阅读和选学3

2.1.1杂质位置类型2.1.2杂质种类及其能级2.1.3掺杂方式C02.1节要点4

2.1半导体中的杂质2.1.1杂质位置类型杂质元素在半导体材料中的行为取决于它在半导体材料中的具体状态，同一种杂质处于半导体晶格中不同位置，其性质也会不同。根据杂质进入半导体以后的分布位置，可以将杂质分为替位式和间隙式两种。本质上讲，这两种杂质都是晶格缺陷。5

2.1半导体中的杂质2.1.1杂质位置类型间隙式杂质的原子一般比较小，因此容易进