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电子工业洁净厂房管理制度.docx

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    电子工业洁净厂房管理制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、管理职责 5

    三、人员管理 7

    四、洁净区出入管理 10

    五、洁净服管理 13

    六、洁净环境参数管理 15

    七、空气净化系统管理 17

    八、洁净度监测管理 19

    九、微粒污染控制 22

    十、工艺设备管理 24

    十一、物料管理 26

    十二、清洁管理 30

    十三、静电防护管理 33

    十四、化学品管理 36

    十五、供水供气管理 39

    十六、废弃物管理 42

    十七、施工维修管理 45

    十八、异常事件管理 48

    十九、记录与档案管理

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