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半导体洁净厂房设计规范.docx

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    半导体洁净厂房设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语 6

    三、基本规定 8

    四、厂址选择与总图布局 10

    五、工艺设计 14

    六、洁净等级与环境参数 16

    七、洁净厂房建筑设计 19

    八、洁净室空气净化系统 22

    九、空气调节与冷热源 24

    十、排风与废气处理 28

    十一、工艺设备与动力供应 29

    十二、超纯水系统 33

    十三、特种气体系统 37

    十四、化学品供应与回收 39

    十五、电气与照明设计 42

    十六、自动控制与监测系统 48

    十七、防静电与电磁兼容 52

    十八、消防与

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