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半导体晶圆厂洁净工程设计方案.docx

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    半导体晶圆厂洁净工程设计方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况与设计目标 2

    二、晶圆制造工艺需求分析 5

    三、洁净厂房总体布局设计 7

    四、洁净室等级与环境参数 12

    五、建筑空间与围护结构设计 14

    六、洁净空调系统设计 18

    七、新风排风与压力控制设计 21

    八、超纯水与工艺供水设计 24

    九、特种气体与化学品系统设计 27

    十、真空与工艺排气系统设计 30

    十一、电气与照明系统设计 33

    十二、自动控制与环境监测设计 36

    十三、消防安全与应急设施设计 39

    十四、防微振与电磁环境设计 42

    十五

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