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电子工业洁净厂房培训.docx

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    电子工业洁净厂房培训

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、电子工业洁净厂房概述 2

    二、洁净环境与污染控制 4

    三、洁净度等级与检测指标 9

    四、厂址选择与总平面布局 10

    五、洁净厂房建筑设计 14

    六、洁净室空间与人流物流组织 18

    七、空气净化系统设计 20

    八、气流组织与压差控制 23

    九、温湿度与热环境控制 27

    十、洁净室围护结构与装修 29

    十一、洁净室电气与照明 31

    十二、工艺设备与设施配套 34

    十三、纯水与工艺气体系统 37

    十四、排风与废气处理系统 39

    十五、消防与安全设施 42

    十六、

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