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间隙对硅基微轴承冲击行为影响研究.pdf

间隙对硅基微轴承冲击行为影响研究.pdf

    间隙对大长径比硅质轴颈微轴承冲击

    行为的影响

    S.

    Demiri

    微系统工程

    罗切斯特理工学院

    纽约州罗切斯特市

    S.

    Boedo

    机械工程系

    罗切斯特理工学院

    纽约州罗切斯特市

    本文研究了轴承间隙对硅基微轴颈轴承冲击行为的影响。文中介绍了一种用于评

    估微轴承磨损行为的新型测试装置的设计方案，并探讨了微轴承设计、微加工工

    艺及计量表征技术。为评估间隙对转子转速的影响，基于经典冲量‑动量关系建

    立了轴承系统的动态冲击模型。实验发现，在运动学允许的径向间隙规格范围内

    测得的恢复系数值与先前公布的多晶硅微结构研究结果高度吻合。

    引言

    集成电路（IC）工艺的进步推动了

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