静电学 第5-6部分：电子设备免受静电现象的保护 过程评估技术 标准立项发展报告.docx

静电学第5-6部分：电子设备免受静电现象的保护过程评估技术标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Electrostatics-Part5-6:Protectionofelectronicdevicesfromelectrostaticphenomena-Processassessmenttechniques

摘要

随着微电子器件集成度的不断提高，其静电放电（ESD）耐受电压持续下降，静电敏感性敏感元件在制造、装配、运输和存储等环节面临日益严峻的静电损伤风险。IEC/TS61340-5-6:2025《静电学