CN119230434A 晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119230434A

(43)申请公布日2024.12.31

(21)申请号202411435849.1

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

(72)发明人李安杰兰洵张婉婉尚荔阳

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师沈寒酉归莹

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说