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电子级乙硅烷标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeDisilane

摘要

乙硅烷（Si?H?）是微电子与光电子制造领域不可或缺的高端电子特种气体，主要用于低温外延、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等关键工艺，是新型显示（LTPS/OLED）、大规模集成电路、三维存储器等产业的核心基础材料。长期以来，我国电子级乙硅烷主要依赖进口，产品标准体系不健全，制约了国产化替代进程。SJ/T12052-2025《电子级乙硅烷》电子行业标准于2025年发布，将于2026年7月1日正