2026碳化硅功率器件产业链协同发展与成本下降路径报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、行业概述与研究背景 5
1.1碳化硅功率器件定义与分类 5
1.22026年全球及中国碳化硅行业发展现状 8
1.3产业链协同发展的必要性分析 12
二、上游原材料与晶体生长技术 15
2.1高纯碳化硅粉料制备技术进展 15
2.2硅衬底(SiCSubstrate)生长工艺 17
2.3外延片(Epi-wafer)生长与质量控制 20
三、中游器件制造与工艺协同 23
3.1衬底与外延的界面缺陷控制 23
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