GBT 43976-2024 电子气体 四氟甲烷标准立项发展报告.docx

电子气体四氟甲烷标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—Tetrafluoromethane

摘要

电子气体是集成电路、平板显示、光伏等半导体产业的关键基础材料，四氟甲烷（CF?）作为重要的含氟电子气体，广泛应用于等离子体刻蚀和化学气相沉积清洗等工艺环节。随着我国半导体产业的快速发展，对电子级四氟甲烷的产品质量、检测方法和安全规范提出了更高要求。本标准（GB/T43976-2024）于2024年4月25日发布，2024年11月1日正式实施，规定了电子气体四氟甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、储运及