SNT 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材 标准立项发展报告.docx

可循环利用的溅射后靶材检验高纯金属靶材标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:InspectionofRecyclablePost-SputteringTargets-High-PurityMetalTargets

摘要

随着电子信息、半导体、光伏新能源、显示面板等高新技术产业的迅猛发展，高纯金属溅射靶材作为关键核心材料，其需求量持续攀升。然而，溅射镀膜过程中靶材利用率通常仅为20%~40%，大量溅射后靶材被作为废料处理，既造成稀有金属资源的严重浪费，也带来较大的环境压力。在此背景下，建立可循环利用的溅射后靶材检验标准，对于